ナノテスティング学会

ナノテスティング学会では、下記の本を出版しています。

1. LSIテスティングハンドブック
2. ナノテスティングシンポジウム会議録

1. LSIテスティングハンドブック

LSIの高密度化にともない重要となっているLSIテスティングに関する技術全般を整理して体系化したこの分野で初めてのハンドブックです。当学会の設立記念事業として編纂が開始され、2008年に出版されました。ご質問等ございましたら、事務局にお問い合わせください。

発刊の趣意書

半導体集積回路がIC、LSI、VLSI、ULSIと集積度を増してきた原動力は、LSIの設計、半導体製造のプロセス、診断・解析、および設計・製造・テスト装置に関する広い分野の研究者・技術者のたゆまぬ努力である。

　LSIの集積度向上ならびに信頼性向上のため、このような広い分野の研究者・技術者が一堂に会し議論する場を提供することを目的として、LSI テスティングシンポジウムは、1981 年から毎年開催され2008年には、第28回の開催となる。この「LSI テスティングシンポジウム」の開催を通じ、LSI テスティング技術の発展と普及に寄与することを目的 として、LSIテスティング学会が2006年に発足し、設立された。

　ますます微細化・高集積化・複雑化するLSIの様々な研究分野中で、LSIテスティング関連の分野はますます重要さを増しており、関係する研究者・技術者も増えてきている。このため、基礎から技術全般を整理して体系化したハンドブックを要望する声が高まり、学会設立を記念したハンドブックを出版するに至った。

　大規模化・複雑化がすすむ情報システムの基盤となるハードウェアであるLSIは、それ自身が膨大な数の回路素子を含む巨大システムであり、それを構成する半導体素子の製造は物理的微細化の限界に近づき、その信頼性、安心・安全性を保証することはこれまでになく困難になってきている。さらにハードウェアは必ず経年劣化を引き起こす物理的材料で構成されている。このため、LSIのテスティング技術の進展は重要というよりは、むしろ、必須となってきている。このような状況の下、ハンドブックを発行出来たことはLSIテスティング学会の誇りとし得るものである。本ハンドブックが、広く世の研究者、技術者、学生諸氏の座右の書となることを確信するとともに、この分野における学問、技術、さらに広く産業の発展にも寄与することを念願とするものである。

（「発刊の辞」より）
 
LSIテスティング学会会長　編集委員長　中前幸治

目次

第1章 LSI製造工程と検査・解析
1.1 設計工程:テスト設計
1.2 マスク製造工程
1.3 デバイス製造工程
1.4 組立工程
1.5 検査工程
第2章 歩留り解析
2.1 歩留り解析
2.2 マスク解析
2.3 ウェーハ解析
2.4 インライン検査
第3章 故障解析
3.1 故障現象概論
3.2 故障解析フロー
3.3 PKGレベル解析
3.4 ソフトによる絞込み(故障診断)
3.5 ハードによる絞込み
3.6 物理化学解析
第4章 ツールの原理
4.1 光
4.2 X線
4.3 電子線関係
4.4 イオン関係
4.5 SPM関係
4.6 その他

2. ナノテスティングシンポジウム会議録

毎年開催されているナノテスティングシンポジウム（旧名称　LSIテスティングシンポジウム）の会議録です。

ナノテスティング学会では、毎年、ナノテスティングシンポジウムを開催し、参加者の皆様へ会議録を配布しています。