シンポジウムNANOTS2025の招待講演 及び チュートリアル が確定しました。
2025/07/11
招待講演
・赤堀 浩史 Rapidus株式会社
ご講演題目:Rapidusの挑戦と、それを支える検査計測技術 (仮)
・小寺 哲夫 東京科学大学
ご講演題目:半導体量子ビット研究の基礎と研究動向 (仮)
・蛭田智昭 株式会社 日立製作所
ご講演題目:生成AI 支援による設備・保全知識構築と、保全アプリケーション開発 (仮)
チュートリアル
・姚 永昭 三重大学
ご講演題目:半導体ウェハ全面に分布する格子欠陥の可視化技術